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产品名称: 维易科 TurboDisc E475 As/P MOCVD 系统
上市日期:2015-04-23

使高级设备的产能达到最高利用

 Veeco TurboDisc® E475 As/P 来进行 HB-LED、激光二极管、pHEMT、HBT 和 III-V 聚光太阳能电池的量产,可获得业界最高产能。与以前的系统相比,这种高级金属有机化学气相沉积 (MOCVD) 系统能提高产能,降低购置成本。E475 系统还能改进产品质量、生产效率及良品率。



              

  • 进行 HB-LED、聚光太阳能电池、激光二极管、pHEMT 和 HBT 的量产时,可获得业界最高产能
  • 先进的真空预备室自动化技术可延长生产周期,获得最高的生产效率
  • 集成的 RealTemp® 200 技术可提供直接的自动式闭合回路晶片温度控制,确保实现工艺的可重复性
  • FlowFlange® 可提供离散注射区和独立流匹配,可实现卓越的均匀性和可重复性
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