自动运行，可实现最高的生产效率和收益率
通过先进的 TurboDisc 反应室技术，Veeco TurboDisc® K465 GaN MOCVD 可提供业界最高的产能及唯一经过生产验证的自动化 MOCVD 平台，用于 GaN 基蓝光、绿光 LED 和蓝光激光器的量产。可调整反应堆和源模块，可采用多晶片反应堆技术。K465 是一种全自动高产能系统，提供可扩展的平台，延长资产的使用寿命。